Описание
Вакуумный универсальный пост ВУП-5М предназначен для получения пленок из различных материалов с высокой производительностью методом магнетронного распыления, а также для подготовки объектов, исследуемых с помощью электронного микроскопа или других аналитических приборов.
| Система откачки | ВУП-5М-01 | ВУП-5М-02 | ВУП-5М-03 |
| Диффузионный насос, 220 V | + | ||
| Турбомолекулярный насос, 220 V | + | ||
| Турбомолекулярный насос, 115 V | + |
Дополнительные устройства по требованию заказчика: кварцевый измеритель толщины.
Преимущества
- универсальность процесса позволяет получить пленки металлов, сплавов и полупроводников;
- высокая скорость осаждения с возможностью ее регулирования в широких пределах;
- сохраненные соотношения компонентов при распылении вещества сложного состава;
- прибор позволяет получить высокую адгезию пленок и подложки;
- возможность изменения структуры и свойств пленок;
- возможность распыления нескольких материалов без разгерметизации объема;
- небольшое тепловое воздействие на обрабатываемую структуру.
Предельное остаточное давление в рабочем объеме, Pa:
|
2×10 -4 6×10 -4 |
|
| Диаметр мишени магнетрона, mm | 40 | |
Блок питания DC магнетрона:
|
1100 300 |
|
Блок питания высоковольтный:
|
7 50 |
|
Блок термического испарения:
|
200 100 |
|
| Температура нагрева подложки, °C | 350 | |
| Скорость вращения подложки, rpm | 5 — 15 | |
| Система напуска и стабилизации давления газа | одноканальная (пьезонатекатель) | |
| Размеры рабочего объема (диаметр×высота), mm | 300×300 | |
| Масса прибора, kg, не более | 380 | |
Габаритные размеры, mm
|
620×630×1600 620×630×1400 |
|
| Электрическое питание, V | 380 / 220 | |
| Потребляемая мощность, kVA | 4,5 | |
Область применения
Вакуумный универсальный пост ВУП-5М может быть использован для исследований в области:
- физики,
- химии,
- биологии,
- медицины и других областях науки и техники.
Отзывы
Отзывов пока нет.