Описание
Вакуумный напылительный пост SEO-TEC ;предназначен для подготовки объектов, исследуемых в электронных микроскопах, а также получения многослойных, многокомпонентных пленок из металлов и полупроводников магнетронным, резистивным, электронным методами распыления.
Прибор может использоваться для исследований в областях химии, физики, биологии, медицины, а также для отработки отдельных технологий по вакуумному напылению и травлению в плазме.
| 1 | Камера | Прямоугольная до 0,125 м3 |
| 2 | Остаточное давление, Па | 13×10-3 |
| 3 | Испарители | Устройство испарения углей Резистивный (40 Ам), магнетронный (0.9 кВ) |
| 4 | Температура нагрева объектов | 1000 C |
| 5 | Температура столика охлаждения | -150 C |
| 6 | Система управления | От компьютера |
| 7 | Вакуумная система | Ручной и автоматический режим откачки |
| 8 | Потребляемая мощность, кВ | 2 |
| 9 | Расход воды, л/мин | 5 |
| 10 | Габаритные размеры, мм | 500 x 900 x 1500 |
| 11 | Масса, кг | 220 |
Отзывы
Отзывов пока нет.