Описание
Растровый электронный микроскоп SEO-MicroScan предназначен для исследования рельефа различных объектов в твердой фазе и параметров микрорельефа поверхности.
При оснащении микроскопа рентгеновским микроанализатором возможно проведение элементного состава объектов методом рентгеновского микроанализа по энергиям квантов характеристического рентгеновского излучения.
Микроскоп может использоваться в следующих областях: материаловедении, геологии, биологии и медицине.
| Техническая спецификация | |||
| 1 | Разрешающая способность в режиме ВЭ | 5 – 10 нм | |
| 2 | Рабочий отрезок | 5 – 40 мм | |
| 3 | Диапазон ускоряющих напряжений | 0.1 – 30 кВ | |
| 4 | Диапазон увеличений | 10 – 300000 крат | |
| 5 | Диапазон тока пучка | 1 пА – 1 мкА | |
| 6 | Перемещение объекта по осям X, Y, мм | X = ±40 мм, Y = ±40 мм, T = до +60, R = 360, Z = 8 – 35 мм | |
| 7 | Рабочий вакуум в камере объектов (вакуумная система на базе ТМН) | высоковакуумный режим | 1 x 10-5 Topp |
| низковакуумный режим | 1-20 Topp | ||
| 8 | Время получения рабочего вакуума | 20 мин | |
| 9 | Готовность прибора к работе после смены объекта | 5 мин | |
| 10 | Потребляемая мощность | 220 В (±10%), 50/60 Гц, 2 кВА | |
| 11 | Водяное охлаждение | 2 л/мин, давление: от 0.05 до 0.2 МПа, температура: 20±5 C | |
| 12 | Размеры главной консоли прибора (длина, ширина, высота) | 650 x 650 x 850 мм | |
| 13 | Масса | 200 кг | |
Отзывы
Отзывов пока нет.