Описание
Микроскоп РЭМ-106И предназначен для исследований в материаловедении, нанотехнологиях, физике, химии, геологии, микроэлектронике, биологии, медицине и др. областях с гарантированными метрологическими параметрами измерений линейных размеров субмикронного диапазона и массовой доли элементов в составе исследуемых объектов.
Опции
- автономная система водяного охлаждения;
- набор эталонных объектов геологического происхождения;
- варианты комплектности (камера низкого вакуума и ЭДС) – по согласованию с потребителем.
| Параметр | Значение |
| Разрешение в режиме высокого вакуума (ВЭ), nm | 4 |
| Разрешение в режиме низкого вакуума (ОЭ), nm | 6 |
| Максимальный размер изображения, pixels | 1280×960 |
| Диапазон регулирования давления в камере, Pa | 1 — 270 |
| Диапазон ускоряющих напряжений, kV | 0,5 — 30 |
| Диапазон регулирования увеличений, × | 15 — 300000 |
| Максимальный размер объекта, mm | 50 |
Диапазон перемещений объекта:
|
±25 50 -20÷60 360 |
| Время смены образца, min | 5 |
| Диапазон измерений линейных размеров, µm | 0,2 — 5000 |
| Пределы допускаемой основной погрешности измерений линейных размеров, не более:
|
±40 |
Диапазон анализируемых элементов:
|
5 B – 92 U 12 Mg – 92 U |
| Разрешение ЭДС, eV | 139 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений массовой доли элемента в диапазоне от 6 С до 92 U в составе массивных образцов, не более:
|
±4 |
| Напряжение питания (1 фаза), V частота, Hz |
220 50/60 |
| Потребляемая мощность, kVА | 2,5 |
Габаритные размеры ( колонна со стендом ), mm, не более:
|
1050 2100 1850 |
| Масса, kg, не более | 685 |
Преимущества
- РЭМ-106И – это растровый измерительный электронный микроскоп с камерой низкого вакуума;
- быстрое, с гарантированной точностью, измерение линейных размеров объектов;
- определение элементного состава объектов методом рентгеновского микроанализа с гарантированной точностью;
- высокое качество электронно-оптических изображений поверхности проводящих и диэлектрических объектов без специального приготовления в режимах вторичных (ВЭ) и отраженных электронов (ОЭ);
- набор тестовых образцов для калибровки и поверки метрологических параметров, электронно-оптического увеличения, разрешающей способности в режиме ВЭ и ОЭ, калибровки и поверки системы микроанализа;
- набор эталонов для количественного микроанализа;
- конструкция вакуумной системы, обеспечивающая два рабочих режима в камере объектов: высоковакуумный (классический РЭМ) и низковакуумный регулируемый – для исследования диэлектрических объектов;
- электронно-оптическая система с повышенной защищенностью от внешних электромагнитных полей;
- высокая виброустойчивость;
- объективная линза с разделительными диафрагмами для дифференциальной откачки камеры объектов и электронной пушки;
- управление вакуумной, электронно-оптической, энерго-дисперсионной системами прибора и механизмом перемещения объектов, а также визуализацию и хранение изображений и результатов микроанализа
- обеспечивается персональным компьютером;
- документирование изображений и спектров высокоразрешающим принтером;
- отображение информации о состоянии прибора на дисплее компьютера.
Отзывы
Отзывов пока нет.